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PA-晶圓預定位模塊

1、CCD視覺定位，高精度

2、支持指令操作

3、支持232串口通訊

4、配備獨立系統支持更新

5、支持加裝ST-OCR100系列Wafer上下讀碼模塊

6、設備兼容4/5/6/8/12不同規格晶圓中心和Mark點定位

7、可定位不透/半透/全透/貼膜玻璃制品和化合物制品

8、兼容SEMI標準Flat/notch晶圓


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