OM-自動顯微鏡系統
傳片功能支持EFEM+ROBOT
全自動，CCD成像
全自動走位+自動對焦+CCD成像
數據可追溯
高精度，高穩定性
可配置多工作站點，多機臺數據的匯總
實現缺陷的AOI檢測
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